LAM 853-049542-173

产品参数

型号: 853-049542-173
适用设备: LAM TCP 9400
腔室尺寸: 12 英寸
电极类型: 平板电极
工作频率: 13.56 MHz
工作功率: 1000 W
工作温度: 20 °C … 80 °C

分类:
  • 深圳长欣自动化设备有限公司
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描述

LAM 853-049542-173

LAM 853-049542-173 产品说明

产品概述

LAM 853-049542-173 是一款用于蚀刻工艺的等离子体刻蚀腔室组件。该组件具有以下特点:

高精度
高可靠性
易于维护

产品参数

型号: 853-049542-173
适用设备: LAM TCP 9400
腔室尺寸: 12 英寸
电极类型: 平板电极
工作频率: 13.56 MHz
工作功率: 1000 W
工作温度: 20 °C … 80 °C

LAM 853-049542-173

LAM 853-049542-173

产品应用

该组件可用于各种半导体材料的蚀刻,包括:


氮化镓
砷化镓
碳化硅

LAM 853-049542-173

LAM 853-049542-173

品牌介绍

LAM Research Corporation 是一家全球领先的半导体设备供应商,成立于 1980 年,总部位于美国加利福尼亚州弗里蒙特。公司致力于为客户提供创新和可靠的解决方案,提高生产效率和可靠性。

LAM 的产品和服务广泛应用于全球各地的半导体制造领域。公司在全球拥有超过 14,000 名员工,并在 17 个国家设有分支机构。



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