LAM 810-068158-015

品牌介绍:

名称: Lam Research

总部: 美国

成立时间: 1980年

业务: 半导体制造设备

产品: 蚀刻设备, 刻蚀设备, 薄膜沉积设备, 清洗设备, 检测设备等

特点: 高性能, 高可靠性, 高性价比

分类:
  • 深圳长欣自动化设备有限公司
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描述

LAM 810-068158-015

LAM 810-068158-015 产品说明

产品概述

型号: LAM 810-068158-015

类型: 蚀刻机器人接口板

功能: 用于连接蚀刻机器人和控制系统,实现对蚀刻机器人的控制和监测。

特点:

高可靠性
易于安装
可扩展性
应用:

半导体制造
光伏制造
其他需要蚀刻工艺的行业

产品参数:

接口类型: RS-232, Ethernet
电源: 24VDC
尺寸: 225mm x 175mm x 85mm
重量: 2kg

 

产品应用:

控制蚀刻机器人的运动
监测蚀刻工艺参数
诊断蚀刻机器人故障
数据采集
远程控制



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