描述
LAM 810-046015-010
LAM 810-046015-010产品说明
LAM 810-046015-010是一款高度定制化的PCB板,专为LAM Research的半导体设备设计,用于连接和控制设备内部的电子元器件,确保信号传输和电源分配。
产品参数
尺寸:170 x 100 x 40毫米。
重量:0.5公斤。
材质:FR4。
层数:多层(具体层数未明确指出)。
表面处理:OSP。
针脚数量:200。
温度范围:0°C至200°C(适用于蚀刻腔体温度控制器版本)。
精度:±0.1°C(适用于蚀刻腔体温度控制器版本)。
稳定性:±0.05°C(适用于蚀刻腔体温度控制器版本)。
产品规格
物理特性:符合IPC国际电子工业联接标准。
电气特性:满足设备的电气性能要求,如信号完整性、噪声抑制等。
环境特性:适用于工业环境,具有较宽的工作温度范围和抗振动能力。
系列
该产品属于LAM Research的备件系列,是其半导体设备的重要组成部分。
特征
高可靠性:适用于各种精密工艺,易于安装和维护。
高定制化:设计和制造都针对LAM Research的半导体设备进行了优化。
作用
电路连接:连接设备内部的各种电子元器件,形成完整的电路。
信号传输:传输控制信号、数据信号等,实现设备的各种功能。
电源分配:分配电源给电路中的各个模块。
用途
该产品主要用于半导体制造设备中,例如等离子刻蚀设备、薄膜沉积设备等。此外,它还被用于精密加工领域,如晶圆制造、印刷电路板制造和微机电系统制造。
应用领域
LAM 810-046015-010主要应用于半导体制造工艺中的蚀刻腔体温度控制,包括硅刻蚀、介质刻蚀和金属刻蚀等。此外,它也适用于其他需要精密电路连接和信号传输的工业应用。
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