BROOKS AUTOMATION 001-4130-03

Brooks Automation 001-4130-03是一款高精度、高可靠性的晶圆对准控制器，主要用于半导体制造中的晶圆定位和对准任务。它通过先进的控制算法和精密机械结构，确保晶圆在加工过程中的位置和方向精确无误，从而提高生产效率和产品质量。

产品参数

对准精度：±2μm（X/Y方向），±0.1 mrad（θ方向）。

重复性：X/Y方向为0.5μm，θ方向为0.05mrad。

扫描范围：X/Y方向±20mm，θ方向±5°。

速度：X/Y方向100mm/s，θ方向10°/s。

控制模式：支持多种对准模式和策略。

通信接口：RS-232,RS-485,Ethernet。

防护等级：防震、防尘、防潮。

产品规格

系列：属于Brooks Automation的VCE系列。

适用设备：适用于多种晶圆对准设备，如步进式对准机、扫描式对准机和双曝光对准机。

兼容性：支持多种编程语言（如梯形图和语句表），用户可根据需求自定义控制逻辑。

系列与特征

Brooks Automation 001-4130-03属于VCE系列，该系列以高精度、高可靠性和易用性著称。其主要特征包括：

高精度对准：提供亚微米级别的对准精度，确保制造过程中的极高精度和一致性。

用户友好性：配备直观的用户界面和易于使用的软件，简化配置和操作。

稳定性与可靠性：采用工业级设计，能够在恶劣的生产环境中稳定运行，减少停机时间和维护成本。

多功能性：支持多轴控制，满足复杂运动需求，并兼容多种编程语言。

作用与用途

Brooks Automation 001-4130-03的主要作用是通过高精度定位和校准技术，确保晶圆在搬运和定位过程中的精确性。其广泛应用于以下领域：

半导体制造：用于晶圆清洗、光刻、蚀刻、沉积等工艺。

太阳能电池制造：用于太阳能电池板的晶圆对准操作。

LED制造：用于LED芯片的精准对准。

其他精密制造应用：如计量、薄膜沉积等。

应用领域

Brooks Automation 001-4130-03广泛应用于半导体制造行业，同时也在太阳能电池、LED制造等领域具有重要应用价值