VAT 65040-PACV-AYU2

品牌介绍

VAT 是全球领先的真空阀门和组件供应商,致力于为半导体、制药、化工等行业提供高性能、高可靠性的真空解决方案。VAT 的产品和服务涵盖真空阀门、真空泵、真空附件等多个领域。

VAT 的真空阀门产品线包括 VAT 650 系列、VAT 660 系列和 VAT 670 系列。这些阀门可满足各种半导体工艺应用的需求,并提供可靠的性能和优良的密封性。

分类:
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描述

VAT 65040-PACV-AYU2

VAT 65040-PACV-AYU2 产品说明

概述

VAT 65040-PACV-AYU2 是一款用于半导体制造的真空阀门。它是一款高性能、高可靠性的阀门,可用于各种半导体工艺应用。

产品参数

型号:65040-PACV-AYU2
口径:DN40
材质:不锈钢
工作温度:-20°C 至 150°C
最大压力:100 bar
泄漏率:<1 x 10^-9 mbar l/s
操作方式:气动

 

产品应用

VAT 65040-PACV-AYU2 适用于以下应用:

蚀刻
薄膜沉积
光刻 *离子注入
测试和封装



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