AMAT 0090-07135

品牌介绍

AMAT 是全球领先的半导体设备和材料供应商,致力于为客户提供高性能、高可靠性的产品和服务。AMAT 的产品和服务涵盖晶圆制造、封装和测试等多个领域。

AMAT 的蚀刻腔组件产品线包括 0090 系列、0080 系列和 0070 系列。这些组件可满足各种半导导制造工艺的需求,并提供可靠的蚀刻性能。

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描述

AMAT 0090-07135

AMAT 0090-07135 产品说明

概述

AMAT 0090-07135 是一款用于半导体制造的蚀刻腔组件,可用于多种材料的蚀刻,包括硅、氮化镓和砷化镓。

产品参数

型号:0090-07135
适用材料:硅、氮化镓、砷化镓
蚀刻类型:各向异性、等向异性
蚀刻速率:可调
腔体尺寸:6 英寸
工作温度:20°C 至 120°C

产品应用

AMAT 0090-07135 适用于以下应用:

半导体器件制造
光电子器件制造
微电子器件制造
传感器制造
MEMS 制造



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